來源：愛集微 作者：韓秀榮

集微網(wǎng)消息，半導體材料作為集成電路產(chǎn)業(yè)的基石，在集成電路制造技術(shù)不斷升級和產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展中扮演著重要角色。近年來，在汽車電子、5G通訊、智能終端等新興領(lǐng)域強勁帶動下，國家政策支持等多重因素的推動下，集成電路產(chǎn)業(yè)繼續(xù)保持穩(wěn)健發(fā)展，國內(nèi)半導體材料也迎來持續(xù)增長。

從今年兩會代表的建言和關(guān)注的細分方向看，關(guān)于半導體材料領(lǐng)域主要聚焦“電子特氣”等集成電路用電子材料領(lǐng)域的“國產(chǎn)化”“扶持力度””人才培養(yǎng)”等。

電子特氣是集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的關(guān)鍵基礎(chǔ)性材料。電子特種氣體主要用于集成電路、顯示面板、LED（發(fā)光二極管）、光伏等領(lǐng)域，其中，集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用占比最高為43%。

據(jù)了解，近年來在國家政策支持等多重因素的推動下，我國電子特氣產(chǎn)能逐步釋放，部分產(chǎn)品性能可比肩國際先進水平，達到了集成電路用電子氣體的工藝要求。但是目前多數(shù)國內(nèi)企業(yè)仍處于探索、布局階段，近九成市場仍被外資頭部企業(yè)占據(jù)，進口依賴度高。當前電子特氣受制于人的局面尚未徹底扭轉(zhuǎn)，國產(chǎn)化水平亟待提升。

為此，全國人大代表、聯(lián)泓新材料科技股份有限公司董事長鄭月明建議，加大政策支持力度，推動電子特氣產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)國產(chǎn)替代。

鄭月明建議，加強頂層設(shè)計，引導產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展；加大電子特氣創(chuàng)新研發(fā)支持力度，增強人才支撐；大力支持電子特氣國產(chǎn)化和市場應(yīng)用，出臺相關(guān)政策鼓勵產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)作，共同建設(shè)協(xié)同創(chuàng)新體系；利用資本市場的力量進一步支持優(yōu)質(zhì)電子特氣企業(yè)做大做強，提升我國電子特氣產(chǎn)業(yè)的國際競爭力。

同樣是關(guān)于電子特氣發(fā)展，全國人大代表，中國船舶集團有限公司第七一八研究所黨委委員、副所長郭建增建議，國家進一步加大對電子特氣產(chǎn)業(yè)扶持力度，快啟動國家電子特氣重大專項。

郭建增表示：“為推進我國電子特氣企業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，爭取更大國際話語權(quán)，保障國家集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的安全，建議國家進一步加大對電子特氣產(chǎn)業(yè)扶持力度。”

郭建增指出，受惠于國家政策及資金的扶持力度增加，我國的電子特氣企業(yè)已陸續(xù)解決了部分電子特氣材料國產(chǎn)化問題，但仍存在一些問題：多種產(chǎn)品處于“卡脖子”狀態(tài)，關(guān)鍵技術(shù)存在差距，國內(nèi)電子特氣企業(yè)起步晚、發(fā)展慢。

郭建增建議，盡快啟動國家電子特氣重大專項，以電子特氣龍頭企業(yè)為牽頭單位，聯(lián)合國內(nèi)電子特氣相關(guān)企業(yè)，同時引入上游原物料、儀器設(shè)備、零備件等企業(yè)，下游重點集成電路制造企業(yè)，共同研發(fā)卡脖子氣體。同時，他指出，針對未實現(xiàn)國產(chǎn)化的電子特氣產(chǎn)品，聚力突破當前電子特氣受制于人的關(guān)鍵核心技術(shù)，開展電子特氣全譜系產(chǎn)品研發(fā)規(guī)劃，力爭用三年時間，徹底解決國家電子特氣”卡脖子”問題。

光刻膠又稱光致抗蝕劑，是利用光化學反應(yīng)進行圖形轉(zhuǎn)移的載體。在微電子加工技術(shù)中，光刻工藝就是通過光刻膠將集成電路和半導體分立器件的微細電路圖形從掩膜版轉(zhuǎn)移至待加工的基片上，然后再進行刻蝕、擴散、離子注入及金屬化等工藝。

隨著IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對光刻膠的要求也越來越高。光刻膠的種類主要包括紫外型光刻膠、深紫外型光刻膠、輻射線光刻膠，集成電路制造工藝中采用的主流技術(shù)是紫外型和深紫外型光刻技術(shù)。目前，我國KrF、ArF光刻膠國產(chǎn)化率極低，在海外企業(yè)供應(yīng)鏈不穩(wěn)定的大背景下，國產(chǎn)替代有望提速。

在國產(chǎn)光刻膠這條賽道上，徐州博康信息化學品有限公司貫通IC光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈，有望打通半導體材料自主化最關(guān)鍵一環(huán)持續(xù)崛起。全國人大代表、徐州博康信息化學品有限公司董事長傅志偉表示，將提出關(guān)于在半導體領(lǐng)域加速國產(chǎn)化替代步伐，建設(shè)自主可控產(chǎn)業(yè)鏈的建議。

“我們希望能夠出臺相應(yīng)的政策，推動國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈更加細化，對產(chǎn)業(yè)進行精準扶持。”傅志偉表示，作為集成電路領(lǐng)域工作的參與者，當前中國半導體產(chǎn)業(yè)跟國外相比存在著一定距離。隨著半導體行業(yè)國產(chǎn)化替代要求越來越高，我們?nèi)绾渭哟髧a(chǎn)化力度，使中國半導體產(chǎn)業(yè)整體水平提升，奮力打造半導體產(chǎn)業(yè)“芯”高地，是當下要考慮的問題。

目前，徐州博康信息化學品有限公司已實現(xiàn)“單體——樹脂、光酸——光刻膠”產(chǎn)業(yè)鏈全覆蓋。在過去的十余年中，徐州博康完成中高端半導體光刻膠材料產(chǎn)品的國際化銷售，逐步建立起了全面自主可控的光刻膠供應(yīng)鏈。據(jù)傅志偉介紹，徐州博康前身上海博康從2005年開始研發(fā)單體，并掌握單體提純的先進工藝，能夠把單體的金屬離子雜質(zhì)含量控制在1ppb以下。

此外，全國人大代表、山東有研半導體材料股份有限公司總經(jīng)理張果虎格外關(guān)注集成電路關(guān)鍵材料基地建設(shè)。

有研半導體硅材料股份公司目前主要從事硅及其它半導體材料、設(shè)備的研究、開發(fā)、生產(chǎn)與經(jīng)營，提供相關(guān)技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓和技術(shù)咨詢服務(wù)?，F(xiàn)有山東德州和北京順義兩處國內(nèi)一流的半導體硅材料生產(chǎn)基地，主要產(chǎn)品包括集成電路用硅單晶及硅片、集成電路刻蝕工藝用大直徑硅單晶及制品、區(qū)熔硅單晶及硅片等。

張果虎表示：“我們非常關(guān)注科技創(chuàng)新的工作，因為作為半導體領(lǐng)域的企業(yè)，科技創(chuàng)新是我們的首要任務(wù)，也是未來競爭的焦點。未來五年是加速追趕的機遇期，所以我們也希望政府加大稅收、投資方面支持力度，提升集成電路產(chǎn)業(yè)鏈競爭力。”

全國人大代表、河南光遠新材料股份有限公司董事長李志偉建議，加大力度支持集成電路用電子材料產(chǎn)業(yè)項目盡早進入資本市場，加大對高科技、“卡脖子”的戰(zhàn)略性先進電子材料項目的支持力度。

李志偉指出，集成電路用電子材料產(chǎn)業(yè)備受資本市場青睞，產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)大多是上市企業(yè)。集成電路產(chǎn)業(yè)具有項目投資大、寡頭效應(yīng)凸顯、產(chǎn)品研發(fā)創(chuàng)新周期長、行業(yè)波動明顯等特點，在當前資本市場全面實行股票發(fā)行注冊制改革情況下，建議加大力度支持該產(chǎn)業(yè)項目盡早進入資本市場，利于集成電路用電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

為加快推進國家集成電路用電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展，李志偉提出建議，加大對5G低介電材料、CPU封裝用LOW—CTE材料等高科技、“卡脖子”的戰(zhàn)略性先進電子材料項目的支持力度，列入國家重點專項，推動該類產(chǎn)業(yè)填空白、補短板。同時建議加強集成電路用電子材料產(chǎn)業(yè)高端人才和技術(shù)人才培養(yǎng)，鼓勵高校、研究機構(gòu)有針對性開展專業(yè)課題研究，協(xié)助技術(shù)攻關(guān)；鼓勵高校開設(shè)集成電路用電子材料產(chǎn)業(yè)高端技術(shù)人才培養(yǎng)課程。（校對/劉沁宇）